美国MKS公司简介:

美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美国MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。

美国MKS INSTRUMENTS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术等改善了设备的完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能．

美国MKS INSTRUMENTS目前产品主要包括：压力测量和控制系列的电容薄膜压力传感器、模拟和数字压力控制仪器和阀等提供半导体工艺上、下游压力控制设备；质量流量控制器测量和控制半导体工艺中各种高纯度、高精度气体流量；射频、直流及脉冲等离子电源、匹配器及测试工具为半导体工业提供了可靠的固态电源；STEXI系列产品提供诸如用于工艺腔清洁的ASTRON氟离子发生器，用于去胶工艺的R*EVOLUTION等离子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON气态和LIQUOZON液态臭氧发生器；另外美国万机仪器MKS NSTRUMENTS还提供更广泛的真空产品、气体分析仪、静电控制、控制及信息技术等系列解决方案。

美国MKS 主要产品：

MKS流量计,MKS薄膜真空计,MKS传感器,MKS开关,MKS压力传感器,MKS真空硅,MKS发生器,MKSMKS氟离子/臭氧反应气体发生器,MKS压力控制阀

美国MKS 相关系列与型号介绍：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,

148J,154A/B,179A,180A,185A,248A/D,641A/B,649A/B,748A,1150C,1152C,1179A/B,1479A,1480A,

1485A,1559A,1640A,2179A,DPCA,FRCA,GE,GM,M10MB,M100B,M200,M330,M330AH-XXX-CE,MC20,P4B,P5A,P6A,P8A,P9B,PCA,P99A,P250A,VODMC,VPR3A,41/42A/B,51/52A/B,120A,120D,121A,

141A,142A,146C,220D,221B,228A,230E,226A,430E,590A,615A,616A,622A/B,623A/B,624A/B/D,

625A/B/D,626A/B,627A/B/C/D/E,628A/B/C/D/E,629A/B/D,631B/C/D,660B,670B,690A,698A,722A/B,

727A,728A,740B/C,742B/C,750B/C,752B/C,840B,842B,850B,852B,870B,872B,890B,891B,892B,893B,

CV76XX,D24B/D,D25B/D,D27B/D,D28B/D,DMA/B,E27B/C/D/E,E28B/C/D/E,E29B/D,IDA76XX,LDM-A/D,PDR2000,PR4000,R740B/C,R742B/C,R750B/C,R752B/C R840B,R842B,R850B,R852B……

压力测量及控制

薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在45℃）

690A系列

690A.1TRC 690A.1TRCB 690A.1TRCA 690A01TRC 690A01TRB 690A01TRA 690A11TRC 690A11TRB 690A11TRA 690A12TRC 690A12TRB 690A12TRA 690A13TRC 690A13TRB 690A13TRA 690A53TRC 690A53TRB 690A53TRA 690A14TRC 690A14TRB 690A14TRA 690ARBTRC 690ARBTRB 690ARBTRA 690A24TRC 690A24TRB 690A24TRA 690ARCTRC 690ARCTRB 690ARCTRA

590A系列

590A.1TRC 590A.1TRCB 590A.1TRCA 590A 01TRC 590A 01TRB 590A 01TRA 590A 11TRC 590A11TRB 590A11TRA 590A12TRC 590A12TRB 590A12TRA 590A13TRC 590A13TRB 590A13TRA 590A53TRC 590A53TRB 590A53TRA 590A14TRC 590A14TRB 590A14TRA 590ARBTRC 590ARBTRB 590ARBTRA 590A24TRC 590A24TRB 590A24TRA 590ARCTRC 590ARCTRB 590ARCTRA

698A系列

698A.1TRC 698A.1TRCB 698A.1TRCA 698A.1TRCE 698A.1TRCD 698A 01TRC 698A 01TRB 698A 01TRA 698A 01TRE 698A 01TRD 698A 11TRC 698A11TRB 698A11TRA 698A11TRE 698A11TRD 698A12TRC 698A12TRB 698A12TRA 698A12TRE 698A12TRD 698A13TRC 698A13TRB 698A13TRA 698A13TRE

698A13TRD

mks薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在15-200℃）

615A系列

615A.1TRC 615A.1TRCE 615A01TRC 615A01TRE 615A11TRC 615A11TRE 615A12TRC 615A12TRE 615A13TRC 615A13TRE 615A53TRC 615A53TRE 615A14TRC 615A14TRE 615ARBTRC 615ARBTRE 615A24TRC 615A24TRE 615ARCTRC 615ARCTRE

616A系列

616A.1TRC 616A.1TRCE 616A01TRC 616A01TRE 616A11TRC 616A11TRE 616A12TRC 616A12TRE 616A13TRC 616A13TRE 616A53TRC 616A53TRE 616A14TRC 616A14TRE 616ARBTRC 616ARBTRE 616A24TRC 616A24TRE 616ARCTRC 616ARCTRE

MKS薄膜电容式压力传感器（工作在室温）

622B

622B01TAE 622B01TAD 622B01TAF 622B01TBE 622B01TBD 622B01TBF 622B01TCE 622B01TCD 622B01TCF 622B01TDE 622B01TDD 622B01TDF 622B01TEE 622B01TED 622B01TEF 622B01TQE 622B01TQD 622B01TQF 622B02TAE 622B02TAD 622B02TAF 622B02TBE 622B02TBD 622B02TBF 622B02TCE 622B02TCD 622B02TCF 622B02TDE 622B02TDD 622B02TDF 622B02TEE 622B02TED 622B02TEF 622B02TQE 622B02TQD 622B02TQF 622B11TAE 622B11TAD 622B11TAF 622B11TBE 622B11TBD 622B11TBF 622B11TCE 622B11TCD 622B11TCF 622B11TDE 622B11TDD 622B11TDF 622B11TEE 622B11TED 622B11TEF 622B11TQE 622B11TQD 622B11TQF 622B21TAE 622B21TAD 622B21TAF 622B21TBE 622B21TBD 622B21TBF 622B21TCE 622B21TCD 622B21TCF 622B21TDE 622B21TDD 622B21TDF 622B21TEE 622B21TED 622B21TEF 622B21TQE 622B21TQD 622B21TQF 622B12TAE 622B12TAD 622B12TAF 622B12TBE 622B12TBD 622B12TBF 622B12TCE 622B12TCD 622B12TCF 622B12TDE 622B12TDD 622B12TDF 622B12TEE 622B12TED 622B12TEF 622B12TQE 622B12TQD 622B12TQF 622B52TAE 622B52TAD 622B52TAF 622B52TBE 622B52TBD 622B52TBF 622B52TCE 622B52TCD 622B52TCF 622B52TDE 622B52TDD 622B52TDF 622B52TEE 622B52TED 622B52TEF 622B52TQE 622B52TQD 622B52TQF 622B13TAE 622B13TAD 622B13TAF 622B13TBE 622B13TBD 622B13TBF 622B13TCE 622B13TCD 622B13TCF 622B13TDE 622B13TDD 622B13TDF 6226B13TEE 622B13TED 622B13TEF 622B13TQE 622B13TQD 622B13TQF

623B系列

623B11TAE 623B11TAD 623B11TAF 623B11TBE 623B11TBD 623B11TBF 623B11TCE 623B11TCD 623B11TCF 623B11TDE 623B11TDD 623B11TDF 623B11TEE 623B11TED 623B11TEF 623B11TQE 623B11TQD 623B11TQF 623B21TAE 623B21TAD 623B21TAF 623B21TBE 623B21TBD 623B21TBF 623B21TCE 623B21TCD 623B21TCF 623B21TDE 623B21TDD 623B21TDF 623B21TEE 623B21TED 623B21TEF 623B21TQE 623B21TQD 623B21TQF 623B12TAE 623B12TAD 623B12TAF 623B12TBE 623B12TBD 623B12TBF 623B12TCE 623B12TCD 623B12TCF 623B12TDE 623B12TDD 623B12TDF 623B12TEE 623B12TED 623B12TEF 623B12TQE 623B12TQD 623B12TQF 623B52TAE 623B52TAD 623B52TAF 623B52TBE 623B52TBD 623B52TBF 623B52TCE 623B52TCD 623B52TCF 623B52TDE 623B52TDD 623B52TDF 623B52TEE 623B52TED 623B52TEF 623B52TQE 623B52TQD 623B52TQF 623B13TAE 623B13TAD 623B13TAF 623B13TBE 623B13TBD 623B13TBF 623B13TCE 623B13TCD 623B13TCF 623B13TDE 623B13TDD 623B13TDF 6236B13TEE 623B13TED 623B13TEF 623B13TQE 623B13TQD 623B13TQF

626B系列

626B.1TAE 626B.1TAD 626B.1TAF 626B.1TBE 626B.1TBD 626B.1TBF 626B.1TCE 626B.1TCD 626B.1TCF 626B.1TDE 626B.1TDD 626B.1TDF 626B.1TEE 626B.1TED 626B.1TEF 626B.1TQE 626B.1TQD 626B.1TQF 626BRETAE 626BRETAD 626BRETAF 626BRETBE 626BRETBD 626BRETBF 626BRETCE 626BRETCD 626BRETCF 626BRETDE 626BRETDD 626BRETDF 626BRETEE 626BRETED 626BRETEF 626BRETQE 626BRETQD 626BRETQF 626B01TAE 626B01TAD 626B01TAF 626B01TBE 626B01TBD 626B01TBF 626B01TCE 626B01TCD 626B01TCF 626B01TDE 626B01TDD 626B01TDF 626B01TEE 626B01TED 626B01TEF 626B01TQE 626B01TQD 626B01TQF 626B02TAE 626B02TAD 626B02TAF 626B02TBE 626B02TBD 626B02TBF 626B02TCE 626B02TCD 626B02TCF 626B02TDE 626B02TDD 626B02TDF 626B02TEE 626B02TED 626B02TEF 626B02TQE 626B02TQD 626B02TQF 626B11TAE 626B11TAD 626B11TAF 626B11TBE 626B11TBD 626B11TBF 626B11TCE 626B11TCD 626B11TCF 626B11TDE 626B11TDD 626B11TDF 626B11TEE 626B11TED 626B11TEF 626B11TQE 626B11TQD 626B11TQF 626B21TAE 626B21TAD 626B21TAF 626B21TBE 626B21TBD 626B21TBF 626B21TCE 626B21TCD 626B21TCF 626B21TDE 626B21TDD 626B21TDF 626B21TEE 626B21TED 626B21TEF 626B21TQE 626B21TQD 626B21TQF 626B12TAE 626B12TAD 626B12TAF 626B12TBE 626B12TBD 626B12TBF 626B12TCE 626B12TCD 626B12TCF 626B12TDE 626B12TDD 626B12TDF 626B12TEE 626B12TED 626B12TEF 626B12TQE 626B12TQD 626B12TQF 626B52TAE 626B52TAD 626B52TAF 626B52TBE 626B52TBD 626B52TBF 626B52TCE 626B52TCD 626B52TCF 626B52TDE 626B52TDD 626B52TDF 626B52TEE 626B52TED 626B52TEF 626B52TQE 626B52TQD 626B52TQF 626B13TAE 626B13TAD 626B13TAF 626B13TBE 626B13TBD 626B13TBF 626B13TCE 626B13TCD 626B13TCF 626B13TDE 626B13TDD 626B13TDF 626B13TEE 626B13TED 626B13TEF 626B13TQE 626B13TQD 626B13TQF

722B系列

722B01TCD2FA 722B01TCD2FC 722B01TCD2FD 722B01TCD2FJ 722B01TCD2FK 722B01TCD3FA 722B01TCD3FC 722B01TCD3FD 722B01TCD3FJ 722B01TCD3FK 722B01TBA2FA 722B01TBA2FC 722B01TBA2FD 722B01TBA2FJ 722B01TBA2FK 722B01TBA3FA 722B01TBA3FC 722B01TBA3FD 722B01TBA3FJ 722B01TBA3FK 722B01TCE2FA 722B01TCE2FC 722B01TCE2FD 722B01TCE2FJ 722B01TCE2FK 722B01TCE3FA 722B01TCE3FC 722B01TCE3FD 722B01TCE3FJ 722B01TCE3FK 722B01THA2FA 722B01THA2FC 722B01THA2FD 722B01THA2FJ 722B01THA2FK 722B01THA3FA 722B01THA3FC 722B01THA3FD 722B01THA3FJ 722B01THA3FK 722B01TGA2FA 722B01TGA2FC 722B01TGA2FD 722B01TGA2FJ 722B01TGA2FK 722B01TGA3FA 722B01TGA3FC 722B01TGA3FD 722B01TGA3FJ 722B01TGA3FK 722B02TCD2FA 722B02TCD2FC 722B02TCD2FD 722B02TCD2FJ 722B02TCD2FK 722B02TCD3FA 722B02TCD3FC 722B02TCD3FD 722B02TCD3FJ 722B02TCD3FK 722B02TBA2FA 722B02TBA2FC 722B02TBA2FD 722B02TBA2FJ 722B02TBA2FK 722B02TBA3FA 722B02TBA3FC 722B02TBA3FD 722B02TBA3FJ 722B02TBA3FK 722B02TCE2FA 722B02TCE2FC 722B02TCE2FD 722B02TCE2FJ 722B02TCE2FK 722B02TCE3FA 722B02TCE3FC 722B02TCE3FD 722B02TCE3FJ 722B02TCE3FK 722B02THA2FA 722B02THA2FC 722B02THA2FD 722B02THA2FJ 722B02THA2FK 722B02THA3FA 722B02THA3FC 722B02THA3FD 722B02THA3FJ 722B02THA3FK 722B02TGA2FA 722B02TGA2FC 722B02TGA2FD 722B02TGA2FJ 722B02TGA2FK 722B02TGA3FA 722B021TGA3FC 722B02TGA3FD 722B02TGA3FJ 722B02TGA3FK 722B11TCD2FA 722B11TCD2FC 722B11TCD2FD 722B11TCD2FJ 722B11TCD2FK 722B11TCD3FA 722B11TCD3FC 722B11TCD3FD 722B11TCD3FJ 722B11TCD3FK 722B11TBA2FA 722B11TBA2FC 722B11TBA2FD 722B11TBA2FJ 722B11TBA2FK 722B11TBA3FA 722B11TBA3FC 722B11TBA3FD 722B11TBA3FJ 722B11TBA3FK 722B11TCE2FA 722B11TCE2FC 722B11TCE2FD 722B11TCE2FJ 722B11TCE2FK 722B11TCE3FA 722B11TCE3FC 722B11TCE3FD 722B11TCE3FJ 722B11TCE3FK 722B11THA2FA 722B11THA2FC 722B11THA2FD 722B11THA2FJ 722B11THA2FK 722B11THA3FA 722B11THA3FC 722B11THA3FD 722B11THA3FJ 722B11THA3FK 722B11TGA2FA 722B11TGA2FC 722B11TGA2FD 722B11TGA2FJ 722B11TGA2FK 722B11TGA3FA 722B111TGA3FC 722B11TGA3FD 722B11TGA3FJ 722B11TGA3FK

薄膜电容式压力传感器（温度控制在45℃）

627D系列

627D01TAC1B 627D01TAC1P 627D01TAC2B 627D01TAC2P 627D01TAD1B 627D01TAD1P 627D01TAD2B 627D01TAD2P 627D01TAE1B 627D01TAE1P 627D01TAE2B 627D01TAE2P 627D01TBC1B 627D01TBC1P 627D01TBC2B 627D01TBC2P 627D01TBD1B 627D01TBD1P 627D01TBD2B 627D01TBD2P 627D01TBE1B 627D01TBE1P 627D01TBE2B 627D01TBE2P 627D01TCC1B 627D01TCC1P 627D01TCC2B 627D01TCC2P 627D01TCD1B 627D01TCD1P 627D01TCD2B 627D01TCD2P 627D01TCE1B 627D01TCE1P 627D01TCE2B 627D01TCE2P 627D01TDC1B 627D01TDC1P 627D01TDC2B 627D01TDC2P 627D01TDD1B 627D01TDD1P 627D01TDD2B 627D01TDD2P 627D01TDE1B 627D01TDE1P 627D01TDE2B 627D01TDE2P

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