一、概述

MF4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速

接口可轻松实现机械接口转换，满足用户多种气体管路的要求，该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。

MF4003，管道内径为3mm，测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

MF40008，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、麻醉机、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。

二、MF4000系列气体质量流量传感器的特点：

专为管径为3mm-8mm的气体管路中低速气流的流量计量而设计，进行流体数据统计记录

各种连接方式，易于安装与使用

输出方式灵活 既可通过通讯接口主动上传数据 ，

在麻醉机电子表上具有表现或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电

LED显示瞬时流量和累计流量，允许现场用按键配置流量计参数

可记录自上电以来瞬时流量的值和小值 具有超量程功能 ，

全量程高稳定性、高精度和优良的重复性

三、MF4000系列气体质量流量传感器的机械尺寸

四、MF4003/08系列气体质量流量传感器技术参数

参数MF4003MF4008 单位 通径3 8 mm 流量 2,3,4,5, 10,20,30,40,50SLPM 量程比100:1

精度±（1.5+0.2FS）%重复性 0.25%零点输出漂移 ±30mV输出漂移 ±0.12%/℃响应时间 10（默认，可设置20,50,100,200，500,1000）ms工作电源8~24VDC，50mA

输出方式线性：RS232/RS485/模拟电压0.5~4.5VDC

显示方式4位7段LED数码管显示，2个指示灯

指示单位瞬时流量SLPM;累计流量SL

显示分辨率0.001，,001,0.1可设置0.01,0.1可设置SLPM流量压损100 600Pa工作压力≤0.5MPa工作温度-10~+55℃储存温度-20~+65℃工作湿度＜95%RH（无结冰，无凝霜）

机械接口BSPT1/4（R1/4）,4mm,6mm,8mm快速接头

键盘三个按键

引出线5针插座，南士CD R-5

校准方式空气（20℃，101.325KPa）

重量55（带BSPT1/4（R1/4）接头）

74（带4mm,8mm快速接头）

71（带6mm快速接头） g

备注： 1，模拟输出为传感器的标准输出，用户可以根据不同需求选择RS232或RS485输出；

，以上参数在为 20℃，101.325KPa下测得