无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「超净间」。世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多。

无尘室控管之项目

1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子之产生。

3. 温度和湿度之控制。

4. 压力之调节。

5. 有害气体之排除。

6. 结构物与隔间之气密性。

7. 静电之防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 因素之考虑。

10. 节能之考量。

层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其超净间等级为Class 1~100。

无尘室内的发尘量：

A、材质：棉质发尘量，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。

B、样式：大挂式发尘量，上下分装型次之，全罩型少；

C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；

D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。

室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。