温湿度控制是电子厂净化车间中另一个重要的要素。在电子产品的生产过程中，温湿度的合适控制可以提高产品的质量和可靠性。过高或过低的温度、湿度都可能导致电子元件的老化和损坏。因此，通过空调系统、加湿器、除湿器等设备，对车间的温湿度进行控制，可以确保电子产品的生产环境稳定，达到的生产效果。

微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。

高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。

对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定

对防静电、电磁兼容等

大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万㎡

净化工程包括：乱流式、乱流式、复合式。

1、乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

2、层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

3、复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

净化车间工程设计一般都有设计院或净化工程公司来承接，很少出现设计问题不合理的原因，主要是一些不正规的公司，没有承接净化车间的资质，设计不合理，在施工中偷工减料，使用的设备不合适，造成净化车间洁净度不合格。另一个原因是，公司的套用方案，不符合生产要求，在设计上有不足，导致清洁度不合格