一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。这一方法的优点就是：在集成电路制造工艺中使用的所有材料都可用于传感器的制造。但是采用单芯片工艺制造微麦克风有相当难度，因为在两个电容极板之间的空气介质只能有很小的间隔。而且，由于尺寸的限制，在一些应用场合偏置电压很难满足。基于上述问题，对于电容式麦克风的研究一直没有间断过
指向性
指向性也叫话筒的极性( polar pattern)，它指话筒拾取来自不同方向的声音的能力。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。
全向型(Omnidirectional)也叫无方向型，它对各个方向的声音有相同的灵敏度。心型(Cardioid)属指向型话筒，前端灵敏度强，后端灵敏度弱。超心型(Supercardioid)拾音区域比心型话筒更窄，但后端也会拾取声音。8字型分别从前方和后方拾取声音，但不从侧面(90度角)拾音
频率响应
是指麦克风接受到不同频率声音时，输出信号会随着频率的变化而发生放大或衰减。理想的频率响应曲线为一条水平线，代表输出信号能直实呈现原始声音的特性，但这种理想情况不容易实现。一般来说，电容式麦克风的频率响应曲线会比动圈式的来得平坦。常见的麦克风频率响应曲线大多为高低频衰减，而中低频略为放大。
频率响应曲线图中，横轴为频率，单位为赫兹，大部份情况取对数来表示；纵轴则为灵敏度，单位为分贝
指向性：
话筒对于不同方向来的声音灵敏度会有所不同，这称为话筒的方向性。方向性与频率有关，频率越高则指向性越强。为了保证音质，要求传声器在频响范围内应有比较一致的方向性。方向性用传声器正面0°方向和背面180°方向上的灵敏度的差值来表示，差值大于15dB者称为强方向性话筒。产品说明书上常常给出主要频率的方向极座标响应曲线图案，一般的类型有：单方向性“心形”；双方向性“8字型”；和无方向性“圆形”；以及单指向性“超心型”。话筒灵敏度的方向性是选择话筒的一项重要因素。有的话筒是单方向性的，有的则是全方向性的，也有一些是介于二者之间，其方向性是心形的。
全方向性话筒从各个方向拾取声音的性能一致。当说话者要来回走动时采用此类话筒较为合适，但在环境噪声大的条件下不宜采用。
心形指向话筒的灵敏度在水平方向呈心脏形，正面灵敏度侧面稍小，背面小。这种话筒在多种扩音系统中都有的表现。
单指向性话筒又称为超心形指向性话筒，它的指向性比心形话筒更尖锐，正面灵敏度，其它方向灵敏度急剧衰减，特别适用于高噪音的环境。